臭氧灭菌或抑菌作用，通常是物理的、化学的及生物学等方面的综合结果。其作用机制可归纳为：
（1）作用于细胞膜，导致细胞膜的通透性增加，细胞内物质外流，使细胞失去活动；
（2）使细胞活动必需的酶失去活性；
（3）破坏细胞内的遗传物质或使其失去功能。臭氧杀灭病毒是通过直接破坏核糖核酸或脱氧核酸完成的。而杀灭细菌、霉菌类微生物则是臭氧首先作用与细胞膜，使细胞膜的构成收到损伤，导致新陈代谢障碍并抑制其生长，臭氧继续渗透破坏膜内组织，直到死亡。
紫外线杀菌技术是利用紫外线照射物质，使物体表面的微生物细胞内核蛋白分子构造发生变化而引起死亡。由于紫外线穿透性差,一般情况下紫外照射主要用作食品工厂车间、设备、包装材料的表面以及水杀菌。另外紫外线照射也可以结合其它一些强氧化剂如臭氧、过氧化氢等处理来进行杀菌。近年来紫外线用于透明液体的杀菌获得发展，紫外线照射在果蔬汁中的应用也引起了重视。
现代紫外消毒技术是基于现代防疫学、光学、数学、生物学及物理化学的基础上，利用特殊设计的率、高强度和长寿命的C波段紫外光发生装置产生的强紫外C光照射流水、空气或固体表面，当水、空气或固体表面中的各种细菌、病毒、寄生虫、水藻以及其他病原体受到一定剂量的紫外C光辐射后，其细胞中的DNA结构受到破坏（键断裂，或光化学反应，如使DNA中THYMINE二聚等），从而在不使用任何化学药物的情况下杀灭细菌、病毒以及其它致病体。达到了消毒和净化的目的。
紫外线杀菌原理
当微生物被紫外线照射时，其细胞的部分氨基酸和核酸吸收紫外线，产生光化学作用，引起细胞内成分，特别是核酸、原浆蛋白、酯的化学变化，使细胞质变性，同时空气受紫外线照射后产生微量臭氧，共同杀菌作用，从而导致微生物的死亡。
